AW-ZP series online plasma cleaning machine

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资质文件服务保障

Product Details

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　　产品特性

　　■主要针对引线框架特性，配备自动取片、传输、送片等辅助功能

　　■高自动化，减少人为因素，降低二次污染

　　■高性价比，通过组件转换，可以兼容不同料片清洗

　　■清洗时间短，无溅射损伤和高湿损伤

　　■屏幕动画显示全线工作状态，运行过程实时监控

　　■设备参数分级管理，提高操作安全性

　　■完善的故障报警功能，提示故障项目和故障工位，便于维修

产品型号	AW-ZP04	AW-ZP04A
外形尺寸（不含报警灯塔）	1650（W）×1000（D）×1650(H)mm
反应仓尺寸（铝合金）	280(W)×450(D)×50(H）mm	350（W）×450（D）×50(H)mm
等离子体发生器	频率13.56MHz，功率0-600W可调，自动阻抗匹配
气路系统	标准配置2路（O₂\Ar/H₂），MFC质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调
控制系统	触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式
兼容料片尺寸	长150-270mm，宽30-80mm	长105-155mm，宽30-80mm
清洗效率	4道4片，UPH约500片/小时	4道8片，UPH约1000片/小时
针对产品工艺	集成电路IC封装工艺	LED封装工艺
备注	可按客户需求弹性设计